北京
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国家知识产权局信息显示，上海灵境光启科技有限公司申请一项名为“铌酸锂材料的干法刻蚀方法及铌酸锂波导”的专利，公开号CN121657206A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请提供了一种铌酸锂材料的干法刻蚀方法及铌酸锂波导。所述方法包括步骤：获取铌酸锂材料的晶圆，所述晶圆上具有待刻蚀图案的掩膜层；在所述晶圆上制备一层铝薄膜；将带有铝薄膜的晶圆进行退火处理；利用化学混合液去除铝薄膜，清洗烘干得到待刻蚀晶圆；对所述待刻蚀晶圆进行刻蚀；去除刻蚀后的晶圆上的铌酸锂损伤层和掩膜层，并再次进行退火处理。本申请的方案能够获得良好的刻蚀形貌特征，从而制备出高性能的铌酸锂波导。
天眼查资料显示，上海灵境光启科技有限公司，成立于2025年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，上海灵境光启科技有限公司。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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