北京
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国家知识产权局信息显示，胜高股份有限公司申请一项名为“研磨条件决定装置、单面研磨装置、研磨条件决定方法以及单面研磨方法”的专利，公开号CN121649890A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，一种研磨条件决定装置，决定一边将经由背垫而由研磨头保持的晶圆向研磨垫推压一边使用从包围所述晶圆的保持环与所述研磨垫的间隙向所述研磨垫供给的研磨液来研磨所述晶圆时的研磨条件，具备：获取部，获取所述背垫的累积使用时间以及所述研磨垫的累积使用时间；决定部，基于所述背垫以及所述研磨垫的所述累积使用时间，决定所述晶圆的研磨条件。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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