北京
国家知识产权局信息显示，苏州元相微科技有限责任公司申请一项名为“一种能降低振动的半导体高精度检测系统”的专利，公开号CN121633131A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种能降低振动的半导体高精度检测系统，系统包括：密闭腔室；与密闭腔室侧壁连接的样品准备腔室，样品准备腔室连接分子泵，在密闭腔室和样品准备腔室的连接处设置真空阀门；与密闭腔室连接的离子泵；设于密闭腔室内顶部的电镜探测系统；设于密闭腔室内的磁屏蔽遮挡，磁屏蔽遮挡设于离子泵侧。本发明将主腔体的高真空抽气装置从机械旋转式分子泵更换为无运动部件的离子泵，利用分子泵让系统达到指定真空度，再采用离子泵单独抽气式，不仅从根源上消除机械振动源的同时，还能提升主腔体真空度。
天眼查资料显示，苏州元相微科技有限责任公司，成立于2024年，位于苏州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本350万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州元相微科技有限责任公司参与招投标项目1次，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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