北京
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国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种栅网及其制备方法、离子源装置和半导体设备”的专利，公开号CN121617879A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明提供了一种栅网及其制备方法、离子源装置和半导体设备，涉及半导体技术领域。通过在具有栅网孔洞分布的栅网的表面，以及栅网孔洞的内壁制备厚度和成分均匀且性能稳定的保护层，通过使用保护层的栅网，有效降低IBS以及离子束刻蚀工艺中栅网引入的颗粒污染和/或微量元素污染，稳定和延长生产工艺的周期时间，增加IBS以及离子束刻蚀工艺过程的生产效率。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目267次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息493条，此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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