国家知识产权局信息显示,安徽恒坤新材料科技有限公司申请一项名为“一种底部抗反射涂层树脂及其制备方法和应用”的专利,公开号CN121609888A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明属于光刻技术领域,具体涉及一种底部抗反射涂层树脂及其制备方法和应用。本发明的关键在于通过创新性的单体组合设计与聚合工艺调控,先以对苯二甲酸、5‑羟基间苯二甲酸、烷基二元醇、季戊四醇为原料合成具有特定的、合适分子量的聚酯预聚体,接着聚酯预聚体再与氨基树脂交联剂进行醚交换反应,从而构建得到了具有“刚柔并济”三维网络结构的底部抗反射涂层树脂,其具有高耐热性和强化学抗性,将该树脂作为底部抗反射涂层组合物组分在制备光刻图案中应用时,不仅能够保障高光学匹配性,同时还显著提升了抗反射涂层的热稳定性与化学稳定性。
天眼查资料显示,安徽恒坤新材料科技有限公司,成立于2020年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽恒坤新材料科技有限公司参与招投标项目53次,专利信息9条,此外企业还拥有行政许可17个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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