北京
国家知识产权局信息显示，杭州先导热电科技有限公司申请一项名为“一种晶圆加工温控系统”的专利，公开号CN121620121A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆加工温控系统，涉及晶圆加工领域，旨在解决现有的晶片加工温控方案无法保证半导体晶圆加工设备的温控要求以及水质要求的问题，包括水生产处理区域以及与水生产处理区域连接的晶圆加工区域，晶圆加工区域包括晶圆加工设备以及与晶圆加工设备连接的温控设备，温控设备包括制冷循环模块和水循环模块，制冷循环模块和水循环模块之间设有换热器，水循环模块包括有基础循环回路以及与基础循环回路连接的水质异常检测回路，基础循环回路还连接有水压流量调节装置。本发明的温控系统能够保证半导体晶圆加工设备的温控要求以及水质要求，大大延长了设备的寿命，也提高了晶圆加工的精度。
天眼查资料显示，杭州先导热电科技有限公司，成立于2020年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州先导热电科技有限公司专利信息131条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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