北京
国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“驱动装置、光学系统与光刻设备”的专利，公开号CN121620736A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，一种驱动装置(100)，其用于驱动N个致动器元件(210)以致动光学系统(4、10)的光学元件(310)，包括：N个驱动级(110‑130)，其通过时分多路复用方案(Z)确定的时分多路复用信号(ZMD、ZMA)控制，其中所述N个驱动级(110‑130)的相应驱动级(110‑130)分配给所述N个致动器元件(210)中的一个以及该时分多路复用信号(ZMD、ZMA)的指定时槽(Z1‑Z3)并且具有一放大器(V)，其配置成放大该时分多路复用信号(ZMD、ZMA)的分配的时槽(Z1‑Z3)的信号分量，进而形成驱动电压(U1‑U3)，用于驱动分配的致动器元件(210)，其中N≥2；以及控制回路(400)，其回馈分支(410)具有分压器(420)，该分压器能够基于该时分多路复用方案(Z)选择性连接至所述N个驱动级(110‑130)中的一个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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