国家知识产权局信息显示,苏州镁伽科技有限公司申请一项名为“焦平面定位方法、装置、相关设备及计算机程序产品”的专利,公开号CN121596687A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请公开了一种焦平面定位方法、装置、相关设备及计算机程序产品,涉及半导体制造工艺技术领域。本申请获取相机在垂直于被测对象的聚焦方向上的不同预设采样位置时的干涉光光强;干涉光光强为两束反射光合束后的光信号的光强,两束反射光为被测对象和参考镜分别对位于聚焦方向上的光源的反射光,参考镜平行于光源放置,并且参考镜与光源之间的距离为相机的最佳聚焦距离;对所有预设采样位置对应的干涉光光强进行拟合,得到干涉光信号;从干涉光信号中确定零光程差点,并将零光程差点确定为相机的最佳焦面位置。基于此,提升焦平面定位的灵活性和准确性。
天眼查资料显示,苏州镁伽科技有限公司,成立于2018年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州镁伽科技有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目65次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息621条,此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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