北京
国家知识产权局信息显示，合肥荃智空天信息超高频半导体研究院有限公司;深圳市汇芯通信技术有限公司申请一项名为“一种谐振器的制作方法”的专利，公开号CN121585120A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种谐振器的制作方法，属于微电子及微机电系统器件制造技术领域，该制作方法包括空腔结构刻蚀、环形TSV隔离槽刻蚀、氧化硅填充、表面平坦化、多晶硅沉积、TSV电气连接露出、表面谐振器加工、背面空腔释放刻蚀、牺牲层去除和背面处理，本发明中谐振器的制作工艺工序整合，解决了现有硅基谐振器制作中“空腔与TSV分步加工导致工序冗余、效率低”的问题；本发明中的方法制备的谐振器上下电极与TSV直接连接，无额外布线，具有低寄生电容；本发明中的工艺制备的谐振器具有高可靠性；本发明中的工艺兼容性强：所涉及的加工工艺均与CMOS工艺兼容，可实现谐振器与集成电路的一体化集成。
天眼查资料显示，合肥荃智空天信息超高频半导体研究院有限公司，成立于2024年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥荃智空天信息超高频半导体研究院有限公司专利信息12条。
深圳市汇芯通信技术有限公司，成立于2019年，位于深圳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本20333万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市汇芯通信技术有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目422次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息204条，此外企业还拥有行政许可23个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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