北京
国家知识产权局信息显示，合肥荃智空天信息超高频半导体研究院有限公司;深圳市汇芯通信技术有限公司申请一项名为“一种硅衬底上空腔表面处理的方法”的专利，公开号CN121573640A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种硅衬底上空腔表面处理的方法，属于半导体制造及微机电系统技术领域，该方法包括如下步骤：利用硬掩模和刻蚀工艺在硅片表面形成中心孔洞分布区域和边缘无孔洞区域；将隔垫放置于两片硅片的边缘无孔洞区域之间，两片硅片的中心孔洞分布区域对齐，形成硅片‑隔垫‑硅片的堆叠结构；隔垫不遮挡中心孔洞流道；将堆叠好的硅片和隔垫置于氢气气氛中进行退火处理，形成均匀空腔。本发明克服现有SON工艺中因氢气流场边缘效应导致的硅衬底空腔表面缺陷多、粗糙度高、工艺稳定性差的缺陷，通过晶圆堆叠形成优化氢气流道，改善氢气密度分布，降低氧原子与硅原子的反应概率，实现高质量、高一致性空腔的稳定制备。
天眼查资料显示，合肥荃智空天信息超高频半导体研究院有限公司，成立于2024年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥荃智空天信息超高频半导体研究院有限公司专利信息12条。
深圳市汇芯通信技术有限公司，成立于2019年，位于深圳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本20333万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市汇芯通信技术有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目422次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息204条，此外企业还拥有行政许可23个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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