证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于化学机械抛光的修整装置和抛光系统”,专利申请号为CN202410917496.2,授权日为2026年2月27日。
专利摘要:本发明公开了一种用于化学机械抛光的修整装置和抛光系统,所述修整装置包括摆臂、基座和修整头,所述基座设置于所述摆臂的端部,所述修整头通过导向轴转动连接于基座的下方;所述修整头包括法兰板、球铰板和柔性膜,所述法兰板固定于所述导向轴,所述球铰板铰接于导向轴的下端,所述柔性膜连接于法兰板与球铰板之间,以形成调压腔室;所述调压腔室能够将球铰板下方的修整盘抵压于抛光垫表面,以施加修整载荷。
今年以来华海清科新获得专利授权10个,较去年同期减少了16.67%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元,同比增42.92%。
通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目258次;财产线索方面有商标信息89条,专利信息798条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可31个。
数据来源:天眼查APP
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