突破“卡脖子”技术！沃特塞恩远程等离子体源荣膺省级首台套认定

近日，四川省重大技术装备首台套新材料首批次软件首版次认定名单揭晓，成都沃特塞恩电子技术有限公司自主研发的“固态微波远程等离子体源系统（RPS）”凭借其卓越的技术创新性、先进的制造工艺以及显著的市场替代效应，成功获得“2025年度四川省重大技术装备国内首台套产品”认定。这意味着该产品已通过严格的技术审查和实际应用验证，具备了在高端市场与进口装备同台竞争的实力。

突破“卡脖子”技术，打造半导体核心“引擎”

半导体产业被誉为高端制造的皇冠，而等离子体源则是芯片刻蚀、薄膜沉积、光刻胶去除等前道工艺核心设备的关键零部件。长期以来，该市场被欧美日等国外巨头垄断，存在巨大的供应链安全隐患和“卡脖子”风险。

沃特塞恩此次获认定的固态微波远程等离子体源系统，采用了最新的固态微波技术，相较于传统的磁控管技术，具有极高的频率和功率稳定性，使用寿命长且无需更换耗材。该产品主要由AC-DC电源、3kW固态微波源、远程等离子腔及微波传输波导组成，能够在反应区之外激发等离子体，为用户提供高浓度、低温度的活性自由基，有效降低对材料表面的轰击损伤，是半导体干法处理工艺的更优秀方案。

技术先进性与产业化并重

根据《四川省重大技术装备首台套新材料首批次软件首版次认定管理办法》，获首台套认定的产品必须在品种、规格、技术参数等方面有重大突破，在同类产品中达到国际先进水平的重大技术装备，且拥有完备自主知识产权。沃特塞恩此次获认定的固态微波远程等离子体源，正是这一标准的典范践行。该产品性能卓越，具备稳定性高、灵活适配、智能调控、维护成本低等显著优势，实现了半导体装备核心部件的国产化替代。

事实上，这并非沃特塞恩首次获得行业权威认可。在2024年，沃特塞恩固态微波远程等离子体源系统就曾荣获第七届集成电路产业技术创新奖（“IC创新奖”）的“成果产业化奖”，充分肯定了其在集成电路技术创新和产业化方面取得的突出业绩。

深耕射频能量应用，助力产业链自主可控

成立于2015年的成都沃特塞恩电子技术有限公司，是一家专注于微波/射频能量应用及加速器高频功率系统应用的国家级高新技术企业。公司深耕覆盖ISM频段的全系列固态功率源产品，不仅填补了全球工业领域固态功率源市场的空白，还通过并购拥有丰富微波等离子体技术开发经验的纽曼和瑞微波技术有限公司，进一步巩固了在微波等离子体设备领域的技术优势。

目前，沃特塞恩的产品已广泛应用于半导体、光伏、碳基新材料制备、医疗以及大科学装置等领域。此次获得省级首台套认定，意味着该产品将有机会享受四川省及成都市关于首台套产品在销售奖励、保险补偿、推广应用等方面的政策支持，有助于其更快地进入市场，实现规模化应用。

业内专家指出，以沃特塞恩为代表的国产核心零部件企业的持续突破，对于提升我国半导体产业链的韧性和安全水平具有重要战略意义。随着国产设备的持续迭代和市场的日益开放，以沃特塞恩固态微波远程等离子体源为代表的“四川造”高端装备，有望在国产替代的浪潮中扮演更加重要的角色。