国家知识产权局信息显示,芯蓥智铖(重庆)科技有限公司取得一项名为“一种用于晶圆检测设备的寻边机构”的专利,授权公告号CN223943135U,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,本申请公开了一种用于晶圆检测设备的寻边机构,涉及半导体加工设备技术领域,其包括箱体、第一驱动件、转台、摄像单元、移动机构和吹气机构,第一驱动件设置在箱体内,转台与第一驱动件连接,转台的顶端开设有吸气孔,吹气机构安装在转台的顶端,移动机构设置在箱体内,摄像单元设置在移动机构的移动端。本申请使用吹气机构对转台顶壁进行吹气,使得转台的吸附表面始终保持干净,避免在长期使用的过程中进入灰尘、颗粒等杂质,保障转台对晶圆的吸附效果,同时避免杂质对晶圆产生磨损,影响其使用效果。
天眼查资料显示,芯蓥智铖(重庆)科技有限公司,成立于2024年,位于重庆市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析,芯蓥智铖(重庆)科技有限公司专利信息13条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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