江苏
在半导体制造和微电子器件研发中，晶圆测试（Wafer Sort/CP）是决定产品良率的关键环节。测试环境对稳定性的要求日益严苛。其中，真空探针台与气浮隔振防震桌的组合，已成为解决微振动干扰、实现电学测试的标准配置。
高低温真空探针台
一、为什么需要真空环境？
在大气环境下进行低温测试时，空气中的水汽容易凝结在晶圆表面，导致漏电或探针接触不良，直接影响测试数据的准确性。而在高温测试（如300℃~500℃）中，氧化现象会加剧，可能导致器件电性漂移甚至物理形变，带来不可逆的测试误差。
真空探针台通过分子泵+涡旋泵多级抽气系统，可在30分钟内达到10⁻⁶ torr的高真空度，排除水汽和氧气的干扰，确保测试环境的高度纯净与稳定。
二、气浮隔振
在探针与器件电极对准的过程中，任何微小的外界振动都可能导致定位偏移，影响测试重复性和可靠性。为此，真空探针台配套气浮隔振防震桌（可选阻尼隔振防震桌），采用空气弹簧隔振技术，固有频率低至1.5Hz-2Hz，能够有效隔绝地面传导的微小振动。
平台表面平面度达0.05mm/m²，粗糙度小于0.8μm，支持定制尺寸，为探针移动（精度可达1μm）提供了稳固可靠的基础保障。
三、真空-温度协同控制
宽温域：液氮制冷与电加热复合控温，覆盖77K~450K（可扩展至4.5K）
控温：温度稳定性±0.1K，分辨率0.1K
多场景适配：支持从低温到高温的测试，满足新型材料研发需求
真空探针台
四、多通道拓展
真空屏蔽腔体设计有效降低电磁干扰，支持pA级微弱电流和μΩ级电阻的测量。设备标配4个探针臂（可扩展至6个），支持四线法测试、射频探针（DC~67GHz）和光电协同测试，漏电精度低至10fA，满足从基础研究到量产验证的多层次需求。
五、应用场景
材料研发：在真空环境下测试钙钛矿、氧化镓等新型材料的高低温电学性能
失效分析：结合SEM或FIB，对芯片短路、漏电等问题进行亚微米级定位
真空探针台
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