北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“调节流体输送系统”的专利，公开号CN121548779A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，一种流体处理系统，包括配置成将液体至少部分限制在最终元件与衬底之间的浸没空间的流体处理结构，其中，所述流体处理结构包括：多个气刀隔室和多个气体供应隔室，其中，至所述气刀隔室和所述气体供应隔室中的每个的气体流量可以由对应的可变流量阀单独地控制。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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