北京
国家知识产权局信息显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“半导体器件多晶硅层中离子注入方法”的专利，公开号CN121548235A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体器件多晶硅层中离子注入方法，该方法包括：提供需进行离子注入的半导体器件，半导体器件上形成有多晶硅层；于多晶硅层中的预设区域进行具有导电类型离子及氮离子的离子注入；对离子注入后的多晶硅层进行热处理工艺。本方法通过在向多晶硅层进行具有导电类型离子注入时，增加氮离子的注入步骤，氮离子的掺杂可以有效抑制甚至减小多晶硅层晶粒尺寸，使多晶硅层晶粒尺寸变小，从而加长具有导电类型离子的扩散路径，实现抑制具有导电类型离子在多晶硅层中扩散的效果。
天眼查资料显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司，成立于2020年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业，专利信息108条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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