北京
国家知识产权局信息显示，江苏启微半导体设备有限公司申请一项名为“一种供液装置的控制系统和方法”的专利，公开号CN121541721A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明提供一种供液装置的控制系统和方法，每个工艺槽设置至少两个位于工艺槽不同区域的第一测温元件，第一测温元件采集第一药液温度，在其中一个第一测温元件采集的第一药液温度低于预设温度标准时启用循环加热模块执行循环加热过程，第一水泵从第一出液口抽出药液，经第一加热器加热后通过工艺槽的第一进液口返回工艺槽；并在各第一药液温度一致且达到预设温度标准时控制循环加热模块停止加热。避免了大容积的工艺槽温度不均即对外供液的情形，保证了对外供液的温度稳定性，从而满足晶圆清洗工艺要求，多工艺槽共用水泵和加热器降低成本，还可以实现连续对外供液。
天眼查资料显示，江苏启微半导体设备有限公司，成立于2017年，位于南通市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35500万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏启微半导体设备有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息135条，此外企业还拥有行政许可19个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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