北京
国家知识产权局信息显示，广东科卓半导体设备有限公司申请一项名为“一种兼具晶圆平整度检测的晶圆载台”的专利，公开号CN121548279A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆切割技术领域，具体来说是涉及一种兼具晶圆平整度检测的晶圆载台，包括底板、设于底板的平整度检测装置和切换阀；平整度检测装置包括检测本体、孔板和导电盘；检测本体设有凹槽和环形气腔；导电盘设于凹槽内；孔板设于凹槽的开口处；孔板、导电盘与检测本体共同围设形成有与环形气腔连通的检测腔；孔板的每个孔位均朝检测腔内延伸有气管；气管的末端设有导电弹性膜；切换阀与环形气腔相连，使检测腔在正压状态与负压状态之间切换。本发明实现在真空吸附之前对晶圆单元进行平整度检测。
天眼查资料显示，广东科卓半导体设备有限公司，成立于2016年，位于东莞市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1301.8884万人民币。通过天眼查大数据分析，广东科卓半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息75条，此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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