北京
国家知识产权局信息显示，河南百合特种光学研究院有限公司申请一项名为“一种低倍率自动聚焦补偿紫外光刻镜头”的专利，公开号CN121522965A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种低倍率自动聚焦补偿紫外光刻镜头，本发明公开了一种低倍率自动聚焦补偿紫外光刻镜头，属于紫外光刻设备技术领域；该镜头适用于激光直接成像设备中IC封装基板精细线路的曝光工艺；光刻镜头包括由多个球面透镜组成的双远心成像系统、补偿平片以及一对可相对滑动的光楔；光楔之间通过倾斜设置的滑移结构实现沿光路方向的焦面位置微调，结合图像对比度反馈或位移传感器，实现自动聚焦控制，补偿范围达到±0.236mm；镜头整体采用定心直装结构，组件偏心与角偏控制精度高；该镜头在405nm波长下成像分辨率高，MTF曲线接近衍射极限，焦深满足±12μm的光刻工艺需求，可显著提升系统的稳定性与生产良率。
天眼查资料显示，河南百合特种光学研究院有限公司，成立于2016年，位于新乡市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本1570.9636万人民币。通过天眼查大数据分析，河南百合特种光学研究院有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息99条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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