北京
国家知识产权局信息显示，江苏博涛智能热工股份有限公司申请一项名为“ALD设备”的专利，公开号CN121496368A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种ALD设备，包括反应壳体、控制器和多条结构和尺寸相同的供气管路，反应壳体内部形成有反应腔室，反应腔室的顶部设置有匀流板；供气管路分为多条主管路和至少一备用管路，主管路的数量与反应工艺所需前驱体数量相同，每条供气管路内均设置有手阀和ALD阀，手阀用于连接至前驱体源，ALD阀用于控制前驱体脉冲或吹扫气的启闭，所有手阀和ALD阀为相同型号相同批次；控制器连接并控制每个ALD阀的启闭。本发明的ALD设备配备冗余的供气管路，管路之间可以随时切换，且反应腔室内的气体脉冲形态、压力瞬态、停留时间等关键工艺参数无任何扰动，薄膜生长速率、均匀性、成分保持不变，实现了“工艺参数不变”的在线切换，生产零中断。
天眼查资料显示，江苏博涛智能热工股份有限公司，成立于2010年，位于苏州市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本10613.7931万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏博涛智能热工股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目157次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息277条，此外企业还拥有行政许可29个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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