北京
国家知识产权局信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司取得一项名为“运动曝光工作台及具有其的曝光系统”的专利，授权公告号CN223911162U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种运动曝光工作台及具有其的曝光系统，运动曝光工作台包括安装座、升降组件、第一运动组件、第二运动组件和曝光组件，第二运动组件设于第一运动组件，第二运动组件的沿第二方向移动，第一方向和第二方向均在水平方向内，且第一方向与第二方向相互垂直；其中，第二运动组件上还设有传感器，传感器用于检测基板位置。通过设有传感器以检测基板位置，以根据基板位置以去驱动第一运动组件和第二运动组件调整曝光组件的位置，以让曝光组件能够更好地将曝光效果作用到基板上，从而让曝光组件能够按照设计将曝光效果作用到基板上以进行曝光，且在使用过程中可以根据生产过程进行调整，以让曝光组件的使用具有更高的精度。
天眼查资料显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司，成立于2015年，位于合肥市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本13174.0716万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目162次，财产线索方面有商标信息25条，专利信息386条，此外企业还拥有行政许可26个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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