北京
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国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“用于引入空腔结构的方法以及具有这类空腔结构的微机械传感器”的专利，公开号CN121493863A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明涉及一种在衬底(14)中引入空腔结构(12)的方法(10)，具有以下步骤：产生(16)具有至少两个彼此间隔的沟槽结构(20)的网格结构(18)；通过构造至少面式地覆盖两个沟槽结构(20)的埋入式连续腔体(30)，在相对于法向方向(24)在所述网格结构(18)下方产生(26)腔体结构(28)。本发明还涉及一种微机械传感器(69)。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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