山东
六氟化硫SF₆化学性质稳定，在常温下不与任何物质反应，能作为保护气氛精准调控材料生长环境，确保半导体材料的晶体结构和电学性能达到设计要求，六氟化硫作为绝缘介质，贯穿了半导体制造多个关键工序，直接保障了生产过程的连续性和稳定性。
作为半导体产业的消耗大户，任何微小的、未被发现的六氟化硫SF₆泄漏，累积起来都会对人员健康、工艺稳定、设备安全、环境安全等造成严重影响，因此，必须对六氟化硫SF₆进行安全防泄漏监测。
济南祥控自动化设备有限公司生产的XKCON-SF6-A-021型六氟化硫SF₆气体检测仪采用红外光谱检测技术，能够快速、精确地测量半导体生产车间环境中的SF₆气体实时浓度，测量范围0-50/100/500/1000/2000/5000PPM（其它量程可定制），具有高精度、抗干扰、长寿命等技术优势，成为半导体产业领域SF6气体监测的“安全卫士”。
祥控XKCON-SF6-A-021型六氟化硫SF₆气体检测仪具备的产品特点：
全量程温湿度补偿，可快速、准确地检测目标气体，检测数据稳定。
对SF₆敏感，检测过程无损耗，不受交叉背景气体干扰。
支持单六氟化硫SF₆气体浓度、六氟化硫SF₆+氧气O₂两种气体的实时浓度。
XKCON-SF6-A-021型六氟化硫SF₆气体检测仪可与物联网、大数据技术结合，构建XKCON祥控半导体生产车间六氟化硫SF₆气体在线监测系统，通过多种信号输出，实现数据传输，实现远程监管，系统具有远程监管、设备监管、异常告警、联动故障预警，有助于提高半导体行业领域的安全监管水平。
XKCON-SF6-A-021型六氟化硫SF₆气体检测仪能够及时检测SF₆是否泄漏，并通过监测系统采取相应的预防措施，全方位覆盖生产的各个环节，能够提前消除安全隐患，为半导体产业的安全成产保驾护航。
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