国家知识产权局信息显示,安徽中科光栅科技有限公司申请一项名为“基于动态直边光阑的无缝拼接光栅制作方法”的专利,公开号CN121477383A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明涉及无缝拼接光栅,具体涉及基于动态直边光阑的无缝拼接光栅制作方法,将动态直边光阑的边缘对齐基板一侧拼缝位置标记,使动态直边光阑沿垂直于拼缝的方向进行简谐运动,实现动态扫描,并完成第一次干涉曝光;将动态直边光阑的边缘对齐基板另一侧拼缝位置标记,并利用第一次曝光预留的光栅潜像进行条纹锁定,使动态直边光阑沿垂直于拼缝的方向进行简谐运动,实现动态扫描,并完成第二次干涉曝光;对曝光后的基板进行统一显影,获得无拼缝的光刻胶光栅掩膜,并将掩膜上的光栅结构转移至介质基底;本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的由于拼缝调制导致的抗激光损伤能力较差、加工难度大的缺陷。
天眼查资料显示,安徽中科光栅科技有限公司,成立于2020年,位于合肥市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2400.28万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽中科光栅科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目43次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息32条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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