北京
国家知识产权局信息显示，本源量子计算科技（合肥）股份有限公司申请一项名为“基板刻蚀方法、超导电路制备方法及其装置”的专利，公开号CN121463725A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基板刻蚀方法、超导电路制备方法及其装置，属于量子芯片制备技术领域。该基板刻蚀方法中，在采用第一等离子对初始基板进行刻蚀后，利用第二等离子对第一基板上残留的第一等离子进行去除。上述基板刻蚀方法中，由于第二等离子与第一等离子反应生成挥发物，可有效去除第一等离子，降低残留在第一基板上的第一等离子与空气接触后对第一基板腐蚀的风险，提高基板的合格率，进而也提高采用该基板的量子芯片的合格率。
天眼查资料显示，本源量子计算科技（合肥）股份有限公司，成立于2017年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本3000.0008万人民币。通过天眼查大数据分析，本源量子计算科技（合肥）股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目116次，财产线索方面有商标信息663条，专利信息2034条，此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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