打造半导体设备国产“强心脏”，槃实科技完成亿元级A轮融资

在全球半导体产业蓬勃发展的当下，设备市场规模持续扩容，中国大陆已稳居全球第一大市场。然而，繁荣的市场表象下，核心零部件的国产化依然是制约产业自主可控的关键短板，尤其在对洁净度与可靠性要求极高的湿法制程领域，关键泵阀长期面临国际垄断。

近日，国内半导体设备核心零部件领域传来捷报——槃实科技（深圳）有限公司宣布完成新一轮融资，该公司此前已攻克业内最大功率6000W磁悬浮无轴承泵技术难关并实现量产，打破了该领域长达二十余年的技术壁垒。本轮融资将进一步加速其产能扩充与多领域产业化布局，为补齐国产高端半导体设备核心零部件短板提供有力支撑。

槃实科技完成亿元级A轮融资，加速磁悬浮技术产业化

槃实科技（深圳）有限公司（以下简称：槃实科技）近日完成了亿元级A轮融资。本轮融资由海通创新、深圳资本集团、招银国际、深担创投联合领投，宇杉资本、老股东基石资本坚定跟投。

此次A轮融资为槃实科技开启了加速发展的新征程，该公司计划扩大半导体领域磁悬浮无轴承泵的产能，以满足日益增长的市场需求。同时，加速推进磁悬浮技术在生物制药和医疗器械等多领域的产业化进程，为行业带来更高效、更优质的解决方案。

资料显示，槃实科技自2019年成立以来，便聚焦磁悬浮这一高壁垒、高价值赛道，专注于磁悬浮技术应用于对洁净度、精准度、可靠性有极致要求的工业场景，如泛半导体、生物医学和精细化工等领域。

凭借一支汇聚国内外高端人才的核心团队，槃实科技构建起差异化竞争优势。创始团队源自瑞士洛桑联邦理工大学，核心成员涵盖磁悬浮技术专家、产业深耕者及国家级高层次人才，依托产学研深度融合的资源优势，实现了从技术研发到商业化落地的高效闭环。

槃实科技核心产品磁悬浮无轴承泵通过磁悬浮无轴承电机技术，替代传统机械轴承，转子与泵壳无接触高速旋转，避免了机械磨损与污染。目前已率先攻克业内最大功率6000W磁悬浮无轴承泵的研发及量产难题，同时完成从30W到6000W全系列主流型号的产品开发和量产，可满足不同应用场景的定制化需求。产品拥有超洁净、无摩擦、低剪切力、流量精准平稳等优势，可精准适配泛半导体、生物医学、精细化工等应用领域需求，稳定可靠的性能已获得业内客户的广泛认可，进一步巩固了公司在国产替代进程中的核心地位。

槃实科技已布局核心专利130余项，拥有约6000平方米的研发及生产空间。凭借强大的技术实力，公司荣获国家级高新技术企业认定，入选了工信部《2024年未来产业创新发展优秀典型案例》“标志性产品”、广东省名优高新技术产品榜单，还荣获了“深圳市种子独角兽企业”和深圳市“专精特新中小企业”等荣誉，在行业内树立了卓越的品牌形象与良好口碑。

半导体湿法制程呼唤“无接触”变革，磁悬浮技术直击行业痛点

半导体制造对环境洁净度、控制精度要求极高，传统的机械传动（如滚珠轴承、机械轴封）在高速旋转时会产生微小的磨损颗粒，这些颗粒一旦落在晶圆上，芯片就会报废。磁悬浮技术作为一种无接触的运动方式，凭借无摩擦、生命周期更长、能效更高、定位精准等显著优势，可以有效解决上述难题。

当前，磁悬浮技术主要用于半导体制造过程中的湿法工艺领域， 该领域涵盖清洗、刻蚀、CMP、光刻胶去除与电镀五大核心功能，需利用各种化学液体或去离子水对晶圆表面进行处理。在此场景下，磁悬浮无轴承泵凭借其独特的物理机制，克服了传统机械泵浦在先进制程中的局限性，成为提升湿法设备性能的关键技术。

磁悬浮无轴承泵技术核心在于利用磁场力将叶轮完全悬浮于泵腔之内，实现了真正的“无接触”旋转。这种设计带来的首要变革便是极致的纯净度。由于摒弃了机械轴承和接触式密封，泵体内部消除了摩擦源，从而杜绝了颗粒物的产生。在对洁净度要求苛刻的清洗与湿法刻蚀工艺中，这种零颗粒生成的特性直接转化为晶圆良率的显著提升，使得芯片制造商能够更有底气地挑战物理极限。

磁悬浮技术还重新定义了设备的运行效率与安全性。采用全封闭的一体化泵壳设计，使得这种泵具备了极高的气密性，彻底阻断了强酸、强碱等危险化学液外泄的路径。更为关键的是，无磨损的物理特性意味着泵体在理论上拥有极长的使用寿命。对于分秒必争的晶圆厂而言，这大幅减少了因更换密封件或轴承而导致的停机维护时间，保障了产线的连续运转能力，从而在长周期的生产中显著降低了运营成本。

此外，磁悬浮无轴承泵在处理特殊流体时也展现出了独特的优势。在半导体工艺中，部分化学液如CMP研磨液或感光乳剂对剪切力极度敏感，传统泵的高速机械搅拌容易破坏其物理结构，导致药液失效或凝聚。磁悬浮泵通常采用宽流道设计，能够提供低剪切力的温和输送，确保了敏感化学液在循环过程中保持特性稳定，进而保障了工艺的一致性。

综上，磁悬浮无轴承泵通过消除机械摩擦、实现静态密封以及提供低剪切输送，解决了半导体湿法制程中关于颗粒控制、泄漏防护及流体稳定性等核心技术挑战，是支撑先进制程高良率与高稼动率的重要设备组件。

结 语

凭借在磁悬浮无轴承泵技术上的深厚积淀与对行业痛点的精准解决，槃实科技不仅获得了半导体行业头部企业的认证，实现了批量应用，更获得了众多一线投资机构的坚定注资，这种技术+市场的双重验证，为公司下一步的战略升级奠定了坚实基础。

正如槃实科技创始人崔庆文博士所言，磁悬浮技术的产业价值和前景非常广阔。槃实科技不仅致力于成为核心部件的供应商，更立志成为“新质生产力”的赋能者。

展望未来，槃实科技将继续以创新为驱动，深化“技术复用”模式，将磁悬浮技术的应用边界从泛半导体加速拓展至生物医药及高端医疗器械（如磁悬浮体外循环血液泵）等关键领域。 在众多优质机构的支持下，槃实科技有望立足深圳、走向世界，在国产化替代的蓝海中乘风破浪，为推动中国高端制造行业的发展贡献坚实力量。