国家知识产权局信息显示,湖北星辰技术有限公司申请一项名为“一种晶圆切割方法”的专利,公开号CN121447263A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本申请提供一种晶圆切割方法,涉及晶圆切割技术领域。该晶圆切割方法包括:提供晶圆,其中,晶圆的第一表面划有切割道,切割道的关键尺寸为激光束的最大直径的两倍以上;在晶圆的第二表面形成具有缺口的剥离层,其中,第二表面与第一表面相对,缺口将切割道露出,缺口的边缘与切割道的边缘完全重合;在缺口内形成非剥离层;提供支撑膜,并将剥离层和非剥离层粘附于支撑膜的表面;使用激光束沿切割道的边缘进行切割,以将晶圆切割为多个芯片;使剥离层与支撑膜解除粘附,并将剥离层上的芯片取出。该晶圆切割方法能够避免切割完成取下芯片时,切割道被一起带出。
天眼查资料显示,湖北星辰技术有限公司,成立于2021年,位于武汉市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3680.3242万人民币。通过天眼查大数据分析,湖北星辰技术有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目81次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息128条,此外企业还拥有行政许可28个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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