北京
国家知识产权局信息显示，京东方华灿光电（广东）有限公司申请一项名为“快速热退火设备的监测方法及装置、电子设备及存储介质”的专利，公开号CN121463784A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本公开提供了一种快速热退火设备的监测方法及装置、电子设备及存储介质，属于半导体技术领域。该快速热退火设备的监测方法包括：生长Ti层；测量得到Ti层的电阻率均匀性值；通过待测快速热退火设备对Ti层进行快速热退火，以得到TiN层，Ti层的退火参数与待退火氮化镓功率器件的退火参数一致；测量得到TiN层的电阻率均匀性值；根据Ti层的电阻率均匀性值和TiN层的电阻率均匀性值，判断待测快速热退火设备是否符合设计要求。本公开能够准确的监控RTA设备的温度均匀性。
天眼查资料显示，京东方华灿光电（广东）有限公司，成立于2022年，位于珠海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本186000万人民币。通过天眼查大数据分析，京东方华灿光电（广东）有限公司参与招投标项目30次，专利信息61条，此外企业还拥有行政许可111个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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