国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其进气组件、分气件”的专利,公开号CN121428531A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请公开一种半导体工艺设备及其进气组件、分气件,属于半导体技术领域。半导体工艺设备包括腔室本体、基座以及支撑轴,基座设置于腔室本体内,支撑轴贯穿腔室本体并与基座相连,用于半导体工艺设备的分气件为环状结构,分气件用于套设于支撑轴的外部,且分气件用于连接腔室本体,分气件设有用于供清洗气体流通的分气通道,分气通道可对清洗气体进行分流,以使经分气件流出的清洗气体形成环绕支撑轴的旋转气流。进气组件包括上述的分气件。如此设置,旋转气流逐渐抵达基座的底面并进行扩散,清洗气体在非工艺反应区域内进行扩散,进而对非工艺反应区域全面清洗,有利于提升清洗效果,避免基座的下方区域进行镀膜或者产生颗粒。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1365次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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