北京
国家知识产权局信息显示，星隆科技（江苏）有限公司申请一项名为“一种自动真空贴膜机”的专利，公开号CN121442993A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本申请公开了一种自动真空贴膜机，涉及半导体制造中的晶圆处理技术领域，改善了传统贴膜方式中压力不均而引起贴合不良的问题，其包括工作台、贴膜装置、真空吸附单元、负压系统、控制系统；真空吸附单元包括下底壳和开合于下底壳的上顶盖，下底壳的上表面设有呈矩阵排列的吸附孔，负压系统通过管路连接各分区的吸附孔，用于分区域动态调节吸附力；上顶盖的一侧铰接于工作台上，工作台设置有控制上顶盖开合的控制件；下底壳和上顶盖闭合时构成吸附腔体，吸附腔体连通有真空发生装置，膜材与待贴膜晶圆在吸附腔体内加工；下底壳设有与真空发生装置电连接的张力传感器，张力传感器实时监测薄膜拉伸应力并反馈至控制系统，控制系统与负压系统电连接。
天眼查资料显示，星隆科技（江苏）有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，星隆科技（江苏）有限公司共对外投资了1家企业，专利信息11条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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