国家知识产权局信息显示,科磊股份有限公司申请一项名为“用于检验的以深度学习为基础的模式选择”的专利,公开号CN121443932A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明提供用于确定样品的信息的方法及系统。一种系统包含计算机子系统及由所述计算机子系统执行的一或多个组件,所述一或多个组件包含设置深度学习(DL)模型,所述设置DL模型经配置用于基于由检验系统的两种或更多种模式中的每一者分别针对样品产生的输出而对所述样品单独执行缺陷检测,及基于分别针对所述模式中的每一者产生的遮蔽输出而对所述样品单独重新执行缺陷检测。所述计算机子系统分别针对所述模式中的每一者确定单独执行与单独重新执行所述缺陷检测的结果之间的差异,且将所述差异大于其它模式所针对的所述模式的子集识别为用于所述样品的检验的候选模式。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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