北京
国家知识产权局信息显示，国电投核力创芯（无锡）科技有限公司申请一项名为“一种晶圆质子辐照工艺的辐照平台及传输装置及辐照工艺”的专利，公开号CN121419581A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明申请涉及一种晶圆质子辐照工艺的辐照平台及传输装置及辐照工艺，属于半导体制造技术领域。晶圆质子辐照工艺的辐照平台及传输装置包括：第一晶圆盒装载晶圆，第一机械手抓取第一晶圆承载腔内晶圆于第一晶圆定位台上进行定位以获得第一定位后晶圆，第一机械手抓取第一定位后晶圆于置于真空工艺腔以形成第一待辐照晶圆；第二晶圆盒装载晶圆，第二机械手抓取第二晶圆承载腔内晶圆于第二晶圆定位台上进行定位以获得第二定位后晶圆，第二机械手抓取第二定位后晶圆并置入真空工艺腔以形成第二待辐照晶圆；在晶圆辐照工位，对承载的第一待辐照晶圆或承载的第二待辐照晶圆进行交替辐照。本发明申请能够实现晶圆传输及质子辐照工艺。
天眼查资料显示，国电投核力创芯（无锡）科技有限公司，成立于2021年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本7022.63万人民币。通过天眼查大数据分析，国电投核力创芯（无锡）科技有限公司参与招投标项目342次，专利信息65条，此外企业还拥有行政许可33个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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