北京
国家知识产权局信息显示，上海集成电路研发中心有限公司取得一项名为“过滤装置”的专利，授权公告号CN223818365U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种过滤装置，装置包括风箱，均设置在风箱内的风机、冷凝组件和过滤网，风箱具有进风口和出风口，出风口用于与工艺腔连通，冷凝组件位于进风口和出风口之间，过滤网位于冷凝组件和出风口之间。如此，风机启动，使得空气从大气环境中自进风口进入风箱内，在空气从从出风口进入到工艺腔中之前，通过冷凝组件来降低风箱内的温度，从而可以降低大气中分子运动性，使得大气中的水蒸气凝结于冷凝组件上，例如使得空气中的可溶性有机物被吸附凝结，降低空气中的颗粒物含量，保证进入到工艺腔中的空气不会造成ECP制程中三种添加剂的失衡，减少电镀的工艺缺陷。
天眼查资料显示，上海集成电路研发中心有限公司，成立于2002年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本30060万人民币。通过天眼查大数据分析，上海集成电路研发中心有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目295次，财产线索方面有商标信息98条，专利信息2160条，此外企业还拥有行政许可88个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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