国家知识产权局信息显示,无锡东峰展锐科技有限公司申请一项名为“一种防静电晶圆搬运摩擦垫材料制备及应用”的专利,公开号CN121362457A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明涉及高分子材料技术领域,且公开了一种防静电晶圆搬运摩擦垫材料制备及应用,包括以下重量组分:60‑70重量份的甲基硅橡胶、2‑3重量份的改性石墨烯、1‑3重量份的防静电剂、0.3‑0.5重量份的抗氧剂1010。本发明通过将改性石墨烯与防静电剂的协同作用,构建了高效的导电通路,能快速疏导摩擦产生的静电,可有效避免静电吸附灰尘污染晶圆,同时防止静电击穿晶圆表面敏感电路,显著降低因静电导致的晶圆报废率,保障半导体制造过程的稳定性;防静电剂中的季铵盐基团也具有较好的防静电效果。同时也具有较好的阻燃效果。
天眼查资料显示,无锡东峰展锐科技有限公司,成立于2018年,位于无锡市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本81万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡东峰展锐科技有限公司专利信息1条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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