北京
国家知识产权局信息显示，浙江求是创芯半导体设备有限公司取得一项名为“光路系统及应用该光路系统的离子注入机”的专利，授权公告号CN223809108U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种光路系统及应用该光路系统的离子注入机，该光路系统包括电离引出模块、筛选模块、扫描模块和加速准直模块；电离引出模块用于将中性原子与分子电离为离子，并引出由离子形成的束流；筛选模块用于筛选出束流中的目标离子；扫描模块用于修正由目标离子组成的目标离子束的方向，并聚焦或拓宽目标离子束；加速准直模块设置在扫描模块的下游，加速准直模块包括集成设置的准直单元和加速单元，准直单元设置在加速单元之前，准直单元聚焦目标离子束中发散的目标离子后，通过加速单元将目标离子加速至具有目标能量。通过上述设置，缩短了目标离子束在光路中的运动距离，在低速或低能条件下，降低目标离子束的流强损耗。
天眼查资料显示，浙江求是创芯半导体设备有限公司，成立于2021年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本4320.9877万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江求是创芯半导体设备有限公司参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息96条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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