北京
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国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“多流过式蒸气安瓿输送系统”的专利，公开号CN121336528A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，一种向衬底处理系统的处理模块供应汽化前体的组件包括设置于外壳中的多个输送系统，以及设置于外壳中并介于相邻的输送系统之间以将相邻的输送系统彼此热隔离的热隔离器。每一输送系统包括容器、加热器以及导管。容器包括液体前体。加热器被配置为加热容器中的液体前体。导管被配置为将在容器中所产生的汽化前体供应至处理模块。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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