中国半导体起步时,底子其实不薄。新中国成立没几年,就把晶体管技术当成国防和计算的支柱来抓。科研队伍从材料提纯入手,逐步搞定三极管生产。
60年代初,硅平面管出来时,已经涉及光刻步骤,那时候国内团队在实验室里一步步验证曝光工艺,确保线路清晰。1965年,第一台接触式光刻机问世,跟美国产品只差几年。
当时全球这块玩家少,日本刚起步,韩国台湾还没动静。中国工程师靠有限设备,硬是把精度控制在可接受范围,这为后期集成电路打下基础。
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70年代,进展没停。1977年,半自动光刻机面世,把圆片直径从50毫米提到75毫米,自动化水平上台阶。团队分工细致,有的专攻光学系统,有的优化机械对准。
1980年,清华搞出分步投影机,线宽到3微米,跟国际主流持平。那时期,中国在分布技术上追得紧,差距控制在几年内。科研人知道,这关乎国家电子工业命脉,咬牙坚持,逐步积累经验。
1985年,机电部单位推出样机,通过鉴定,相当于美国1978年产品水平,阿斯麦在那时刚成立,市场份额小。
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80年代中后期,风向变了。国际关系改善,西方设备能进口,以前买不到的突然摆上货架。光刻研发本就耗时费力,有人觉得直接采购更实惠,省下力气干别的。
这个思路渐渐成为主流,决策层开始权衡成本。结果,一批项目搁置,资金转向引进。企业转而依赖海外机器,短期产量上去了,自研能力却弱了。科研队伍部分解散,积累的工艺经验中断。
半导体产业链开始脱节,设计和制造各自为政,本土迭代慢下来。
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“造不如买”这四个字,看似聪明,实际埋雷。它让中间环节获利,却让核心技术“空心化”。以前只落后几年,现在差距拉到20年。国外企业整合供应链,中国却在低端组装徘徊。
90年代末,意识到问题,国家重启计划,但已错过窗口。瓦森纳协议加码,限制中国买先进设备,只能拿落后两代的货。
科研人回想那些年,总觉得遗憾,本该并肩的机会,就这么溜走。依赖进口的代价,一旦封锁,就露底。
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2002年,上海微电子公司成立,扛起攻关旗帜。团队从90纳米起步,逐步测试样机,克服光学和工件台难题。政策支持下,大基金注入,产业链渐连起来。
2016年,量产三种光刻机,市场占有率升。但高端仍卡在193纳米光源,浸没式技术追赶中。相比阿斯麦的5纳米,中国还在28纳米门槛挣扎。工程师们知道,路长,但得一步步走。
早期先驱的努力,本该延续,却因中断影响长远。现在,全球市场转向大陆,自给率在提升。
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核心技术握在手里,才稳。那些年,买现成省了小钱,但丢了大局。科研老人常说,坚持自研虽苦,换来独立。半导体关乎国家安全,芯片制造离不开光刻环节,国外垄断时,中国被动挨打。
中国队伍壮大,投资加速,设计制造均衡。未来,突破高端,得靠持续投入和协作。回首历程,“造不如买”让产业被动多年,但也提醒大家,自主之路别再拐弯。
如今,中国光刻虽在中低端站稳,高端仍需努力,全球封锁下,自力更生成共识。
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