国家知识产权局信息显示,北京电子量检测装备有限责任公司申请一项名为“一种晶圆缺陷检测方法、系统、设备及介质”的专利,公开号CN121329879A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本申请公开了一种晶圆缺陷检测方法、系统、设备及介质,该方法包括:获取针对待测晶圆的图像序列,待测晶圆包括阵列排布的多个独立芯片,图像序列包括多个目标图像块;基于多个独立芯片对多个目标图像块进行拼接匹配处理,得到待测晶圆的待测图像;利用预设的检测算法对待测图像进行缺陷检测,得到待测晶圆中的目标缺陷信息,检测算法包括比对算法、灰度均值算法、多尺度梯度分析法和自适应分割算法;基于目标缺陷信息进行分类处理,得到针对待测晶圆的缺陷报告。解决了传统的AOI设备采集的整体图像与晶圆存在的差异较大,采用单一算法进行图像检测时容易遗漏晶圆表面的微小缺陷,导致缺陷检测的准确性较低的问题。
天眼查资料显示,北京电子量检测装备有限责任公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本15550万人民币。通过天眼查大数据分析,北京电子量检测装备有限责任公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目73次,专利信息129条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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