北京
国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“一种静电卡盘”的专利，授权公告号CN223798674U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种静电卡盘，包括：静电卡盘本体，具有静电吸附面，所述静电吸附面用于固定晶圆，所述静电吸附面上开设有安装槽，所述安装槽与外部连通；去吸附组件，具有接触端，所述接触端设置在所述安装槽内且能够沿所述静电卡盘本体的厚度方向移动，所述接触端抵接晶圆时用于去除所述静电吸附面与晶圆之间的吸附力。本实用新型能够在等离子体点火出现异常时，通过接触端可以沿静电卡盘本体的厚度方向移动，直接抵接晶圆，进而快速将晶圆上的电荷导出，避免晶圆在设备中的长时间停留，降低了晶圆损坏的风险。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息934条，此外企业还拥有行政许可56个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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