北京
国家知识产权局信息显示，新一新能源科技（衢州）有限公司取得一项名为“一种开放式气帘密封结构”的专利，授权公告号CN223798634U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种开放式气帘密封结构，所述气帘密封结构包括设置在工艺腔体进料侧方向上的多级前气帘腔室；还包括设置在工艺腔体出料侧方向上的多级后气帘腔室；还包括设置在相邻气帘腔室之间的进气管道以及与对应气帘腔室连接的回收管道或排废管道；所述进气管道和回收管道与外部装有隔离气体的气罐构成气体循环系统。本实用新型在工艺腔体两侧采用特定的气帘密封结构对工艺腔体内的工艺气体进行密封，能够有效阻止工艺气体泄露至工艺腔体外，在实现工艺生产安全性的同时，使得硅片的气体蚀刻工艺过程能连续运行，从而提高刻蚀设备的产能。
天眼查资料显示，新一新能源科技（衢州）有限公司，成立于2023年，位于衢州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本51020.408163万人民币。通过天眼查大数据分析，新一新能源科技（衢州）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息30条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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