北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺气体的调节装置及工艺腔室”的专利，公开号CN121306886A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种工艺气体的调节装置及工艺腔室，涉及半导体领域。一种工艺气体的调节装置，应用于半导体工艺设备的工艺腔室，所述调节装置包括：装置本体；所述装置本体内设有进气通道、输气通道和多个出气通道，所述输气通道沿所述装置本体的周向环设于所述装置本体内，所述进气通道及多个所述出气通道分别与所述输气通道连通，多个所述出气通道沿所述装置本体的周向排布，并分别位于用于承载晶圆的承载面的外周；每个所述出气通道朝向所述承载面的中心线方向倾斜延伸。本申请能够解决晶圆刻蚀差异性和刻蚀选择比不合理中的至少一个问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1347次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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