航发团队攻坚半导体真空设备，多款产品性能对标国际标杆，完成数千万天使轮融资｜硬氪首发

作者 | 林晴晴

编辑 | 袁斯来

硬氪获悉，芯航微（上海）科技有限公司（下称「芯航微」）已于近期完成数千万元天使轮融资，本轮融资由宇杉资本和上海道禾投资共同参与，此前公司曾获得险峰长青的种子轮投资。据悉，本轮融资将主要用于涡轮分子泵产线扩建、半磁悬浮及全磁悬浮系列产品的持续研发，以及市场推广与团队扩充。

「芯航微」成立于2023年，是一家专注于半导体、高端科学仪器、光伏等工业领域真空零部件设计、研发与生产的高科技企业。公司核心团队来自中国航发商用航空发动机有限责任公司，依托航空发动机设计体系与技术积累，致力于实现涡轮分子泵的国产化替代，目前已建立起涵盖MAX80、MAX300、MAX700等多款半磁悬浮产品及在研全磁悬浮产品的技术矩阵。

当前，在高真空与超高真空领域，涡轮分子泵作为关键部件，广泛应用于半导体制造、科学仪器、光伏装备等场景。全球市场长期被德国普发、爱德华等国际厂商垄断，国内市场份额的95%以上依赖进口。行业长期存在产品价格高、交货周期长、售后维修周期长等痛点，而国内现有厂商的产品在极限真空度、振动控制、可靠性与使用寿命等关键指标上，仍与海外标杆存在显著差距，难以满足高端设备需求。

瞄准这一市场空白，「芯航微」将航空发动机的设计方法、材料体系与制造工艺降维应用于涡轮分子泵的研发。公司产品在抽速、压缩比、极限真空等核心性能上对标国际主流型号，并在启动时间、停机时间与转速调节范围等综合性能上实现提升。以已量产的MAX300半磁悬浮涡轮分子泵为例，其启动时间比国外同类产品快15%，停机时间缩短68%，转速可调范围更宽，支持更低的断电重连转速，这些改进有助于半导体客户、科学仪器客户等提升设备利用率和研发及生产迭代效率。

在市场拓展方面，「芯航微」的产品已进入国内知名第三代半导体碳化硅外延设备企业及高端质谱仪厂商，并实现了二十余台产品的批量交付。公司通过共享航空发动机制造平台与供应链资源，在控制成本的同时保障产品的一致性与可靠性，其产品定价低于进口产品，且供货显著短于国外厂商交货期。

为进一步构建产能与研发壁垒，「芯航微」已在上海松江区建立2000平方米的研发与生产基地，包含万级洁净室总装线、性能测试实验室及MAX80、MAX300两条装配支线，当前年产能超过1200台。公司于2024年通过ISO9001国际质量体系认证，并已完成多项实用新型与发明专利的申请与布局。

团队构成是「芯航微」的另一核心优势。公司CEO刘业胜曾任职于中国航发商用航空发动机有限责任公司与3M中国有限责任公司等世界500强，在航空发动机核心部件研发与工业产品商业化方面经验丰富；CTO廖凯与技术骨干吴清、岳腾、张斌等均拥有多年航空发动机气动、结构、强度与润滑系统设计背景；首席技术顾问为国家专家，曾参与多个国际先进航空发动机型号研发。市场与销售团队上拥有由来自应用材料、ASML、爱发科等半导体设备巨头的资深顾问，具备深厚的行业资源与客户导入能力。

投资方观点：

险峰长青表示，分子泵是半导体设备与高端科研仪器的关键核心部件，应用场景广泛且对系统性能与稳定性具有决定性影响，其技术壁垒和产业壁垒极高。芯航微团队源自国内顶尖航空发动机研发体系，在涡轮分子泵的国产化方向上具备深厚的工程积累和体系化能力，不仅实现了对进口产品的替代，更在关键性能指标上实现了创新与突破。目前，芯航微的产品已顺利通过关键测试验证，并在半导体设备、质谱仪等领域实现批量出货，展现出卓越的技术成熟度与产业化能力。我们期待公司未来进一步丰富产品矩阵，持续为客户提供高性能、强可靠性的真空解决方案，加速成长为国内领先、具有全球竞争力的真空系统供应商。宇杉资本与上海道禾均指出，涡轮分子泵作为真空系统核心部件，广泛应用于半导体设备、高端科研仪器领域，国内市场长期被 Pfeiffer、Edwards 等国际厂商垄断，存在价格高、交期长、维护难、断供风险等痛点，国产化替代需求迫切。涡轮分子泵技术壁垒高，原理及机械结构等与航空发动机相似。芯航微团队凭借航空发动机领域气动流体、高速旋转机械等深厚积累，平均从业超 10 年，依托全自主技术、高精度制造及严苛质控体系入局，产品性能等不输海外大厂，已实现半导体和科研仪器领域批量出货。随着万级产线建设与新品研发推进，芯航微有望成长为标杆企业，填补国产高端分子泵空白，助力我国真空设备产业实现跨越，筑牢高端制造供应链自主可控根基。