北京
国家知识产权局信息显示，北京燕东微电子科技有限公司取得一项名为“清洗机的晶圆载片盘以及清洗机”的专利，授权公告号CN223786463U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体提供一种清洗机的晶圆载片盘以及清洗机，旨在解决在背面湿蚀刻过程中酸液容易对晶圆正面造成损伤的问题。本实用新型提供的圆载片盘包括外载片盘和内载片盘；外载片盘上设置有安装口，并且被设置成能够承载晶圆；内载片盘设置于安装口内，内载片盘设置有喷液孔，喷液孔被设置成能够向晶圆的边缘喷射清洗液。本实用新型通过喷液孔向晶圆正面的边缘区域喷射清洗液，能够去除流到晶圆正面边缘处的酸液，避免酸液对晶圆正面的管芯图形造成损伤。
天眼查资料显示，北京燕东微电子科技有限公司，成立于2016年，位于北京市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1600000万人民币。通过天眼查大数据分析，北京燕东微电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1078次，专利信息175条，此外企业还拥有行政许可113个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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