北京
国家知识产权局信息显示，润芯感知科技（南昌）有限公司申请一项名为“微机电系统装置及其制造方法、电子装置”的专利，公开号CN121298064A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，一种微机电系统装置及其制造方法、电子装置，所述微机电系统装置包括:堆叠结构，包括：位于衬底第一侧上的第一电极层、中间介质层和第二电极层，中间介质层位于第一电极层和第二电极层之间；第一空腔，自衬底的第二侧延伸贯穿衬底并暴露出第一电极层；第二空腔，在第一方向上位于第一电极层和第二电极层之间，且在平行于衬底的主表面的第二方向上被中间介质层环绕，其中第一电极层的部分位于第一空腔和第二空腔之间，将第一空腔和第二空腔物理间隔开，并用作振膜；泄气孔，在第一方向上贯穿堆叠结构；以及凹陷通道，自衬底的第二侧朝向第一侧凹入，且与泄气孔和第一空腔空间连通。所述微机电系统装置具有提高的器件性能和可靠性。
天眼查资料显示，润芯感知科技（南昌）有限公司，成立于2022年，位于南昌市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本60000万人民币。通过天眼查大数据分析，润芯感知科技（南昌）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目299次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息34条，此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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