北京
国家知识产权局信息显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯南方集成电路制造有限公司申请一项名为“晶圆量测控制方法、控制装置、设备及存储介质”的专利，公开号CN121310873A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请提供一种晶圆量测控制方法、控制装置、设备及存储介质，所述方法包括：提供当前批次晶圆和历史批次晶圆；获取第一历史工艺信息和第二历史工艺信息；获取量测站点与机台反应腔的腔室信息之间的对应关系；确定历史批次晶圆的量测站点轨迹；从历史批次晶圆中确定目标历史晶圆；从历史量测结果中获取目标历史晶圆在量测站点轨迹中的当前量测站点的量测结果；进行分析，得到量测分析结果；在量测分析结果指示目标历史晶圆为正常的情况下，在当前量测站点对当前批次晶圆进行跳站操作。本申请使量测细化到晶圆级别，将量测判断与加工工艺轨迹、历史批次晶圆的量测结果相关联，增强单次量测所覆盖腔室的全面性，提高晶圆质量控制的精度。
天眼查资料显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目129次，财产线索方面有商标信息150条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可446个。
中芯南方集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本650000万美元。通过天眼查大数据分析，中芯南方集成电路制造有限公司参与招投标项目147次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息120条，此外企业还拥有行政许可406个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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