北京
国家知识产权局信息显示，北京电子量检测装备有限责任公司申请一项名为“一种兼容式晶圆固定装置以及方法”的专利，公开号CN121310968A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明提供了一种兼容式晶圆固定装置以及方法。一种兼容式晶圆固定装置，包括：托板、定位机构以及气路控制机构，所述托板上设置有通道区域，所述定位机构滑动安装在所述托板上，所述气路控制机构通过管路与所述通道区域连接。针对多个不同尺寸规格的待检测晶圆，设计一种兼容式晶圆固定装置，通过兼容的机械机构和气路的通断，达到分别对多种尺寸晶圆固定的效果。实现多种尺寸晶圆使用同一个固定机构固定。无需多台半导体设备，即可实现多种尺寸晶圆的固定和后续的半导体工艺应用。无需拆卸更换半导体固定机构，即可实现多种尺寸晶圆的固定。降低了晶圆固定的设备成本和人工更换成本。
天眼查资料显示，北京电子量检测装备有限责任公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本15550万人民币。通过天眼查大数据分析，北京电子量检测装备有限责任公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目73次，专利信息128条，此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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