国家知识产权局信息显示,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得一项名为“反应源供给系统”的专利,授权公告号CN223766424U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种反应源供给系统,其与反应腔室连通,并且其包括源瓶、载气支路以及输源支路,源瓶内装有液态反应源,载气支路的一端连接于源瓶,载气支路向源瓶输送载气使部分液态反应源转化为气态反应源,输源支路的两端分别连接于源瓶与反应腔室,输源支路向反应腔室输送携带有气态反应源的载气,其中,输源支路上安装有限流件,限流件限制携带有气态反应源的载气流量;本实用新型在满足镀膜工艺所需的气态反应源量的条件下,减少液态反应源转化成气态反应源进入反应腔室的进气量,一方面可以减少液态反应源的消耗,一方面可以减少因气态反应源过量影响镀膜质量。
天眼查资料显示,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,成立于2007年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本34771.3586万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目95次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息548条,此外企业还拥有行政许可71个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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