卓海科技申请探针偏差校准相关专利，校准探针扎针位置偏差，提高测量准确性

来源：新浪证券-红岸工作室

1月6日消息，国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“一种探针偏差校准方法、装置和计算机可读存储介质”的专利。申请公布号为CN121276421A，申请号为CN202511682299.8，申请公布日期为2026年1月6日，申请日期为2025年11月17日，发明人刘娜、相宇阳、俞胜武，专利代理机构北京品源专利代理有限公司，专利代理师王风茹，分类号G01R35/00、G01R1/067、G01R27/08、G01R31/26。

专利摘要显示，本发明公开了一种探针偏差校准方法、装置和计算机可读存储介质，探针偏差校准方法包括：获取待测晶圆的目标测量位置信息、以及探针在待测晶圆上实际扎针位置的实际测量位置信息；根据实际测量位置信息和目标测量位置信息，分别确定探针的探针位置信息和待测晶圆的圆心位置信息；根据探针位置信息和圆心位置信息，校准目标测量位置信息。本发明的技术方案能够对探针扎针的位置偏差进行校准，以在后续测量过程中提高探针扎针位置的准确度，从而能够获取准确的待测半导体材料电性特征。

天眼查数据显示，无锡卓海科技股份有限公司成立日期1970年1月15日，法定代表人相宇阳，所属行业为专用设备制造业，企业规模为小型，注册资本7168.6725万人民币，实缴资本6206.7万人民币，注册地址为无锡市新吴区珠江路97号。无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目100次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息178条，拥有行政许可40个。

无锡卓海科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种探针偏差校准方法、装置和计算机可读存储介质发明专利公布CN202511682299.82025-11-17CN121276421A2026-01-06刘娜、相宇阳、俞胜武2一种晶圆缺陷检测方法、设备和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511640112.82025-11-11CN121090560A2025-12-09阿民、相宇阳、俞胜武3一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法发明专利公布CN202511398856.32025-09-28CN121164314A2025-12-19阿民、相宇阳、俞胜武4一种缺陷检测设备和晶圆位置定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511361836.92025-09-23CN121114049A2025-12-12刘娜、相宇阳、俞胜武5一种薄膜厚度的检测方法及装置发明专利公布CN202511301975.22025-09-12CN121163387A2025-12-19华沁怡、相宇阳、俞胜武6一种设备通信方法、设备、通信系统、介质及产品发明专利公布CN202511205312.02025-08-27CN120768714A2025-10-10陈明习、相宇阳、俞胜武7一种颗粒晶圆制备设备及方法发明专利公布CN202511201255.92025-08-26CN120992288A2025-11-21陈剑、相宇阳、俞胜武8一种测量方法发明专利授权、公布CN202511141034.72025-08-15CN120627924B2025-10-24葛正、相宇阳、俞胜武9一种薄膜微型特征的测量装置及测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511132462.32025-08-13CN121141585A2025-12-16徐晨瑜、相宇阳、俞胜武10一种光声膜厚量测设备及晶圆角度对准方法发明专利授权、公布CN202511046316.92025-07-29CN120558101B2025-10-17胡杨、相宇阳、俞胜武11测量点位的确定方法、装置、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510957615.12025-07-11CN120565439A2025-08-29戴丹蕾、相宇阳、俞胜武12一种晶圆表面检测装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510957017.42025-07-11CN120854330A2025-10-28陈剑、相宇阳、俞胜武13一种晶圆检测系统和晶圆检测方法发明专利公布CN202510869327.02025-06-26CN120668679A2025-09-19郭庆丰、相宇阳、俞胜武14一种半导体控制器测试系统及测试方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510804491.32025-06-17CN120315429A2025-07-15王子颖、相宇阳、陈学文15一种传输设备的运动模拟装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510656068.32025-05-21CN120254459A2025-07-04耿晓杨、相宇阳、戴金方16一种电子枪保护装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510602767.X2025-05-12CN120433124A2025-08-05耿晓杨、相宇阳、戴金方17一种晶圆的寻边装置及方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510546234.42025-04-28CN120356860A2025-07-22周擎天、相宇阳、俞胜武18一种晶圆缺陷检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510544242.52025-04-28CN120473402A2025-08-12王世俊、相宇阳、俞胜武19一种光程自动检测校准装置、方法及半导体设备发明专利公布CN202510471399.X2025-04-15CN120300049A2025-07-11俞天皓、相宇阳、俞胜武20一种晶圆的缺陷检测装置及方法发明专利授权CN202510438634.32025-04-09CN120160984B2025-11-18陈烨伟、相宇阳、俞胜武21一种光电倍增管的校准装置和校准方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510407147.02025-04-02CN120232515A2025-07-01阿民、相宇阳、俞胜武22一种电子元器件替换型号确定方法、设备及产品发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510377524.02025-03-28CN119890101B2025-06-17周楠、相宇阳、戴金方23兼容型开放式晶圆盒装载装置发明专利授权、公布CN202510312325.12025-03-17CN119905440B2025-11-07魏坤、相宇阳、俞胜武24一种台阶仪载台调平装置及台阶仪实用新型授权CN202520446660.62025-03-14CN223677455U2025-12-16魏坤、相宇阳、俞胜武25探针锁紧检测工装及探针电阻测量仪实用新型授权CN202520314021.42025-02-26CN223611577U2025-11-28王焕、相宇阳、俞胜武26一种晶圆装载设备调试系统及方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411995075.82024-12-31CN119861694A2025-04-22陈学文、相宇阳、戴金方27一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411878098.02024-12-19CN119642743B2025-08-15阿民、相宇阳、俞胜武28一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411878098.02024-12-19CN119642743B2025-08-15阿民、相宇阳、俞胜武29一种适用晶圆缺陷检测的回转装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411619161.92024-11-13CN119310004A2025-01-14刘明东、相宇阳、俞胜武30一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411610250.72024-11-12CN119517771B2025-08-15李响、相宇阳、俞胜武31一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411610250.72024-11-12CN119517771B2025-08-15李响、相宇阳、俞胜武32基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411577024.32024-11-06CN119446999B2025-07-29王世俊、相宇阳、俞胜武33基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411577024.32024-11-06CN119446999B2025-07-29王世俊、相宇阳、俞胜武34一种台阶仪系统发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411562892.42024-11-05CN119063680A2024-12-03陈烨伟、相宇阳、俞胜武35一种晶圆图形台阶高度测量方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411544559.02024-10-31CN119493938A2025-02-21林晓坤、相宇阳、俞胜武36一种镜片安装装置实用新型授权CN202422642052.02024-10-30CN223297201U2025-09-02高强、相宇阳、陈剑37一种激光耦合装置及激光器实用新型授权CN202422579307.32024-10-24CN223180476U2025-08-01王海龙、相宇阳、陈剑38显微成像系统实用新型授权CN202422579309.22024-10-24CN223216850U2025-08-12徐晨瑜、相宇阳、俞胜武39一种激光器指向性测试结构实用新型授权CN202422561184.02024-10-22CN223217064U2025-08-12王海龙、相宇阳、陈剑40一种紫外激光器实用新型授权CN202422547061.12024-10-22CN223218634U2025-08-12高庆港、相宇阳、陈剑41翘曲片抓取用机械手臂实用新型授权CN202422559837.12024-10-22CN223326389U2025-09-12王远秀、相宇阳、俞胜武42薄膜厚度的测量方法和装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411463815.32024-10-21CN118999377B2025-03-07戴丹蕾、相宇阳、俞胜武43一种电子枪的预检系统及预检方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411443073.82024-10-16CN119361403B2025-10-14耿晓杨、相宇阳、戴金方44一种激光器的校准系统发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411443060.02024-10-16CN119362129A2025-01-24高强、相宇阳、陈剑45一种电子枪的预检系统及预检方法发明专利授权、公布CN202411443073.82024-10-16CN119361403B2025-10-14耿晓杨、相宇阳、戴金方46一种快插接头用开合机构及晶圆测试装置实用新型授权CN202422443814.42024-10-10CN223090223U2025-07-11高为达、相宇阳、俞胜武47一种晶圆曲率半径的测量方法、装置及系统发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411399592.92024-10-09CN119297101B2025-04-29刘明东、相宇阳、俞胜武48一种电子枪线束的断裂检测方法、装置及系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411391049.42024-10-08CN119224641B2025-08-29黄钧宇、相宇阳、耿晓杨49一种电子枪线束的断裂检测方法、装置及系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411391049.42024-10-08CN119224641B2025-08-29黄钧宇、相宇阳、耿晓杨50真空组装装置发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411372966.82024-09-29CN119208207B2025-04-25耿晓杨、相宇阳、孔彬

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