北京
国家知识产权局信息显示，中电科风华信息装备股份有限公司申请一项名为“用于激光散射缺陷检测的对焦控制方法及缺陷检测系统”的专利，公开号CN121253553A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明提供了一种用于激光散射缺陷检测的对焦控制方法及缺陷检测系统，涉及激光散射缺陷检测自动对焦控制领域，该方法巧妙的将位置敏感探测器放置在与晶圆表面互为共轭物像关系的位置，使得位置敏感探测器上的光斑位置只受到晶圆表面高度的影响，并可使用遮光元件避免透明晶圆下表面对聚焦信号的影响。最终利用分光镜将从待测物体表面反射的光分成两束，一束在位置敏感探测器上形成对焦信号后控制旋转升降台的高度实现自动对焦，另一束用来实现对晶圆表面反射强度和反射角度对应形貌的测量，最终实现晶圆表面缺陷的成像和检测。
天眼查资料显示，中电科风华信息装备股份有限公司，成立于1998年，位于太原市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本9736.4032万人民币。通过天眼查大数据分析，中电科风华信息装备股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目283次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息288条，此外企业还拥有行政许可13个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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