北京
国家知识产权局信息显示，华芯程（杭州）科技有限公司申请一项名为“一种光刻收缩缺陷校验方法及装置”的专利，公开号CN121232548A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造领域，特别是涉及一种光刻收缩缺陷校验方法及装置，通过接收目标曲线图形及所述目标曲线图形经过OPC处理得到的待查模拟曲线图形；确定所述目标曲线图形上的采样点，并获取各个所述采样点沿对应的切线的法线方向到所述待查模拟曲线图形的偏差距离、各个所述采样点对应的曲率及各个所述采样点的法线与所述待查模拟曲线图形交点处的实测线宽；确定各个所述采样点对应的曲线位置误差；确定对应的采样点的线宽缩小系数；计算各个采样点的收缩缺陷风险值；当所述收缩缺陷风险值超过所述容忍阈值时，将对应的采样点确定为收缩缺陷风险点。本发明提升了收缩缺陷的检测精度，降低了缺陷漏检的概率，且提升了校验方法的泛用性。
天眼查资料显示，华芯程（杭州）科技有限公司，成立于2021年，位于杭州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1010.688237万人民币。通过天眼查大数据分析，华芯程（杭州）科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息63条，专利信息142条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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